Nenumaldomai siekdama 2 nm proceso mazgo ir toliau, puslaidininkių pramonė dažnai sutelkia dėmesį į vakuumines sistemas, EUV šviesos šaltinius ir sudėtingus jutiklius. Tačiau svarbiausias „tylusis partneris“ šioje lygtyje yra mechaninis pagrindas. Kadangi plokštelių tikrinimo įrangai reikalinga sub-nanometrinė skiriamoji geba, struktūrinis vientisumas, kurį užtikrina granito metrologinė bazė arbaepoksidinis granito pagrindastapo lemiamu veiksniu siekiant pakartojamo tikslumo.
Šiuolaikinės plokštelių apžiūros iššūkis
Puslaidininkių metrologijos pagrindiniai priešai yra vibracija ir terminis nestabilumas. Kadangi skaitytuvai ir tikrinimo įrankiai juda didesniu greičiu, kad padidintų pralaidumą, jie sukuria inercines jėgas, kurios gali pakenkti matavimo tikslumui. Standartinis plieninis-ketaus rėmas, nors ir tvirtas, neturi vidinio slopinimo, reikalingo pakankamai greitai išsklaidyti šias mikro-vibracijas, kad atitiktų kitos-kartos nuskaitymo reikalavimus.
Čia gyvybiškai svarbus tampa medžiagų mokslas, slypintis už UNPARALLELED sprendimų. Teikdami masyvią, itin stabilią{1}}platformą užtikriname, kad oro guolių stadija galėtų veikti maksimaliai be išorinių ar vidinių trukdžių.
Natūralus granitas prieš epoksidinį granitą: tinkamo pagrindo pasirinkimas
UNPARALLELED Group siūlome tiek natūralius, tiek sintetinius sprendimus, nes kiekvienas iš jų atlieka skirtingą vaidmenį didelio-tikslumo ekosistemoje.
1. Ilgalaikis natūralaus granito tobulumas. Daugelį metų granito metrologijos bazė buvo aukso standartas. Pagrindinis jo pranašumas yra ypatingas matmenų stabilumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas. Kadangi natūralus granitas sensta milijonus metų, jis neturi vidinių įtempių. Naudojant statinę metrologiją arba įrankius, kuriems reikalingas didžiausias paviršiaus lygumas (dažnai 000 klasė), natūralus granitas išlieka nepralenkiamas.
2. Epoksidinio granito inžinerinis lankstumas Kadangi plokštelių tikrinimo įrangos konstrukcija tampa sudėtingesnė, epoksidinio granito pagrindai (mineralinis liejimas) įgauna didelę trauką. Šią medžiagą sudaro atrinkti akmens užpildai, sujungti su aukštos kokybės dervomis.
Išskirtinis slopinimas: epoksidinio granito vibracijos{0}}slopinimo greitis beveik dešimt kartų geresnis nei ketaus ir žymiai didesnis nei natūralaus akmens. Tai leidžia greičiau „nustėti“ didelio greičio{2}}oro guolio etape.
Integravimas: galime sudėti sudėtingas funkcijas tiesiai į pagrindą-, pvz., aušinimo skysčio vamzdžius, srieginius įdėklus ir kabelių vamzdžius,-sumažindami OĮG „bendrąsias nuosavybės išlaidas“.
Oro guolio pakopos sąsajos optimizavimas
Oro guolio pakopa yra tiek gera, kiek paviršius jis plūduriuoja. Naudojant puslaidininkius, oro tarpas dažnai yra mažesnis nei 10 mikrometrų. Bet koks pagrindo lygumo nuokrypis sukelia tiesioginę plokštelės židinio plokštumos paklaidą.
UNPARALLELED naudoja pažangias rankų{0}}plakimo technologijas kartu su lazerine interferometrija, kad mūsų bazės būtų beveik tobulos plokštumos. Sujungę pagrindą ir judesio kreiptuvą į vieną vientisą vienetą, sumažiname mechaninių leistinų nuokrypių krūvą-. Dėl šio holistinio požiūrio pirmaujantys puslaidininkinės įrangos gamintojai atsisako kelių{5}}dalių agregatų prie integruoto mineralinio liejimo arba monolitinio granito konstrukcijų.
NEPRIlyginamas pasaulinės metrologijos pranašumas
Pasaulinei puslaidininkių tiekimo grandinei reikia ne tik komponentų tiekėjo; tam reikia partnerio, suprantančio suderinamumo su švariomis patalpomis niuansus, išmetimo standartus ir ilgalaikį{0}}geometrinį patikimumą. UNPARALLELED Group patirtis tiek natūralaus akmens, tiek mineralinio liejimo srityje leidžia mums pasiūlyti nešališkas technines konsultacijas savo klientams.
Nuo pradinės baigtinių elementų analizės (FEA) iki galutinio tikslaus padengimo – mūsų procesas sukurtas taip, kad jūsų puslaidininkių metrologijos įrankis duotų didžiausią įmanomą našumą. Pramonėje, kurioje svarbus kiekvienas nanometras, užtikriname stabilumą, kuriuo galite remtis.
Išvada: Stabilumo ateities projektavimas
Plokščių tikrinimo įrangos evoliucija ir toliau stums fizikos ribas. Nesvarbu, ar jūsų programai reikalingas klasikinis granito metrologinio pagrindo stabilumas, ar didelio-slopinimo, sudėtingos geometrijosepoksidinis granito pagrindas, UNPARALLELED Group yra šios pagrindinės technologijos priešakyje. Kviečiame inžinierius ir sistemų integratorius ištirti, kaip mūsų medžiaga gali sumažinti jų naujos kartos sistemų klaidų biudžetą.