Mažėjant mikroelektronikai ir didėjant plokštelių dydžiui, linijinio judėjimo sistemoms keliami reikalavimai pasiekė kraštutinius lygius. Tradiciniai mechaniniai cirkuliaciniai rutulinių{1} guolių kreiptuvai pasiekė savo fizines ribas. Trintis, atstumas, mechaninis susidėvėjimas ir mikro{3}}vibracija riboja jų gebėjimą mažėti. Įveskitegranito oro guolių sistema-Netrinties judesio technologija, kuri sujungia natūralų geologinį juodojo granito lygumą su slėginio oro plėvelėmis, kad būtų pasiektas beveik-tobulas tiesinis judėjimas.
Kaip veikia granito oro guoliai
Oro guolis naudoja ploną, labai slėgį švaraus, sauso oro sluoksnį (paprastai 5–10 mikronų storio), kad palaikytų judantį vežimėlį virš atskaitos kreipiamojo bėgio. Kadangi vežimėlis tiesiogine prasme plūduriuoja ore, tarp judančių dalių nėra jokio fizinio kontakto.
Tačiau oro guolis yra tiek tikslus, kiek paviršius jis plūduriuoja. Jei kreipiamasis bėgis yra nelygus, oro tarpo storis svyruos, sukeldamas staigius oro slėgio pokyčius, dėl kurių vežimėlis pasvirs arba vibruos. Štai kodėl UNPARALLELED® Black Granite yra puikus oro guolių partneris: jį galima apdirbti ir rankomis-sulyginti iki mikronų plokštumo, todėl oro plėvelė gali slysti neįtikėtinai vienodu, lygiu ir matmenų stabilumu.
Pagrindiniai granito oro guolių pranašumai
Nulinis nusidėvėjimas, begalinis tarnavimo laikas: kadangi nėra mechaninio kontakto, nėra ir fizinio nusidėvėjimo. Sistemos tikslumas 1000 dieną išlieka toks pat kaip ir 1 dieną. Tai drastiškai sumažina techninės priežiūros prastovos 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę.
Greičio sklandumas: mechaniniai guoliai kenčia nuo „danties“ ir pasipriešinimo riedėjimui pokyčių. Pneumatiniai guoliai užtikrina visiškai sklandų ir be trinties judėjimą, todėl galima labai stabiliai valdyti sub-nanometro greitį.
Ypatingas padėties nustatymo tikslumas: kartu su tiesiniais varikliais ir didelės{0}}raiškos optiniais kodavimo įrenginiais, oro guolių etapai gali pasiekti sub-nanometro padėties nustatymo pakartojamumą, o tai būtina EUV (ekstremalios ultravioletinės spinduliuotės) litografijai ir pažangiam optiniam tikrinimui.
Tepimas nereikalingas: tradiciniams guoliams reikia tepalo arba alyvos, kurie gali išleisti dujas ir užteršti vakuumines kameras arba optinius lęšius. Oro guoliai veikia švariu oru, todėl jie puikiai tinka{1}}švarioms patalpoms.
Taikymas Prožektorius: puslaidininkių plokštelių patikrinimas
Atliekant puslaidininkinių plokštelių tikrinimą (AOI/X-RAY), fotoaparatai turi nuskaityti dideliu greičiu judančias plokšteles, išlaikant tobulą židinio gylį. Net maža vertikali vibracija gali sulieti vaizdą. Oro guolis, važiuojantis ant itin-plokščio granito kreipiančiojo bėgio, užtikrina, kad vertikalus nuokrypis (žingsnis, posvyris ir posūkis) iš esmės-nebūtų, todėl galima užtikrinti aukštą-pralaidumą ir be klaidų{6}}kokybės kontrolę.
Užklausos vadovas: individualiems{0}}pneumatiniams guolių portalams reikia labai suderintų mechaninių paklaidų. Prašydami pasiūlymo, inžinieriai turėtų nurodyti naudingosios apkrovos svorį, tikslinį pagreitį ir aplinkos parametrus (vakuuminius ir atmosferinius), kad būtų užtikrinta, jog granito struktūra ir oro purkštukai būtų suprojektuoti kaip vienas darnus vienetas.