Kodėl aliuminio oksido keramika daro revoliuciją puslaidininkių litografijoje?

Varžybose dėl High{0}}NA EUV litografijos medžiagos standumas ir svoris yra labai svarbūs. Pažangi keramika (Al₂O₃ / SiC) siūlo 380 GPa-Jano modulį, kuris yra beveik dvigubai didesnis nei plieno-, esant perpus mažesniam svoriui. Šie komponentai, kurių šilumos laidumas yra 30 W/m • K, leidžia greitai, didelio{7}}pagreičio padėties nustatymą, reikalingą mažiau nei 5 nm$ lustų gamybai.

1. Inercijos įveikimas naudojant didelio-kietumo, mažos{2}}masės medžiagas

Didelės spartos{0}}plokštelių stadijoms reikalingas didelis pagreitis be struktūrinių virpesių.Keraminiai komponentaiužtikrinti didžiausią galimą standumo{0}}ir-svorio santykį. Tik 3,9 g/cm³ tankio keraminės sijos ir slankikliai leidžia pagreitinti gamybos ciklus ir didesnius G-jėgos judesius, išlaikant ± 10 nm padėties nustatymo tikslumą skenavimo kelyje.

2. Šilumos laidumas ir EUV šilumos apkrovų iššūkis

Extreme Ultraviolet (EUV) litografija sukuria didelę šilumą vakuume. Skirtingai nuo metalų, kurie plečiasi ir deformuojasi, aliuminio oksidas (Al2O3) ir silicio karbidas (SiC) turi didelį šilumos laidumą ir mažą plėtimąsi. Šis derinys užtikrina efektyvų šilumos išsklaidymą, nesukeliant mikronų-lygio „dreifo“, kuris sugadina litografinės projekcijos židinį.

3. Kodėl keramika yra ideali medžiaga vakuuminei aplinkai?

Puslaidininkiniai{0}}priekiniai procesai vyksta itin-dideliuose vakuumuose, kur dujų išsiskyrimas kelia didelį susirūpinimą. Keramika yra chemiškai stabili ir neišskiria dujų, todėl niekada nebus pažeistas vakuumo vientisumas. Jų ne-akytas paviršius taip pat supaprastina valymo procesą ir atitinka griežtus 10 klasės puslaidininkių aplinkos užteršimo protokolus.

4. Tikslus šlifavimas: mažesnių-mikronų geometrinių nuokrypių pasiekimas

Dėl keramikos kietumo (Vickerso kietumas > 1500) juos sunku apdirbti, tačiau jie yra neįtikėtinai stabilūs. UNPARALLELED naudoja specializuotą deimantinį šlifavimą, kad būtų pasiektas plokštumas ir lygiagretumas, mažesnis nei arba lygus 0,5 μm. Taip užtikrinama, kad ant šių komponentų sumontuoti oro guoliai arba vakuuminiai griebtuvai veiktų nepriekaištingai skysčių -plėvelės konsistencija.

5. Ne{1}}elektronų pluošto taikymo magnetinės savybės

Atliekant elektronų pluošto (e-pluošto) litografiją arba tikrinimą, magnetiniai trukdžiai yra nepriimtini. Keramika yra natūraliai ne-magnetinė ir elektrą izoliuojanti, todėl jautriems spinduliams sukuria neutralią aplinką. Tai neleidžia elektromagnetiniams trikdžiams paveikti elektronų trajektoriją ir užtikrina, kad nanoskalės modeliai būtų išgraviruoti arba tikrinami visiškai tiksliai.

Keramikos ir metalo našumo palyginimas

DUK: Tikslioji keramika pramonėje

1 klausimas: ar 99% aliuminio oksido yra geresnis nei 95% tikslioms dalims?

A: Taip. Didesnis grynumas (99%+) užtikrina didesnį mechaninį stiprumą, didesnį dielektrinį stiprumą ir didesnį atsparumą korozijai, kurie yra gyvybiškai svarbūs esant ekstremalioms puslaidininkių plazmos ėsdinimo ar litografijos sąlygoms.

2 klausimas: Ar galite pagaminti pagal užsakymą pagamintus keraminius oro guolius?

A: Taip. Mes specializuojamės OEM keraminiuose oro guolių komponentuose. Keramikos standumą derindami su precizišku šlifavimu, sukuriame orą laikančius paviršius, kurie nuosekliai palaiko sub-mikroninį skrydžio-aukštį dideliuose kelionės diapazonuose.

3 klausimas: kaip tvarkote keraminių medžiagų trapumą?

A: Nors keramika yra trapi, ji yra neįtikėtinai stipri suspaudimo metu. Mes naudojame baigtinių elementų analizę (FEA), kad optimizuotume konstrukcijas, užtikrindami, kad būtų išvengta įtempių koncentracijos ir kad medžiagos standumo didinimo modulis būtų visiškai išnaudotas.

4 klausimas: koks yra tipiškas pritaikytų keraminių komponentų pristatymo laikas?

A: Dėl sudėtingų degimo ir deimantų šlifavimo procesų pristatymo laikas paprastai svyruoja nuo 8 iki 12 savaičių. Tačiau mūsų integruota tiekimo grandinė leidžia paspartinti svarbiausių puslaidininkių sektoriaus mokslinių tyrimų ir plėtros projektų prototipų kūrimą.

5 klausimas: ar keramika tinka naudoti aukštoje{1}}temperatūroje?

A: Nepaprastai taip. Aliuminio oksido keramika išlaiko savo struktūrinį vientisumą aukštesnėje nei 1500 laipsnių temperatūroje, todėl puikiai tinka terminio apdorojimo įrangai puslaidininkių ir aviacijos pramonėje.

6 klausimas: kaip patikrinti keraminio komponento tikslumą?

A. Visiems matmenims patikrinti naudojame CMM (koordinačių matavimo mašinas) su rubininiais{0}}galiais zondais ir lazeriniais interferometrais. Kiekviena dalis pristatoma su išsamia patikros ataskaita, patvirtinančia, kad ji atitinka prašomus μm leistinus nuokrypius.