Puslaidininkių gamybos pasaulyje, kur elementų dydžiai dabar nukrenta žemiau 2 nanometrų, net menkiausia vibracija gali sumažinti derlių, pakenkti metrologijai ir padidinti eksploatavimo išlaidas. Tačiau daugelis gaminių vis dar remiasi tradicinėmis mašinų pagrindo medžiagomis-, tokiomis kaip granitas ar plienas,-kurios užtikrina nepakankamą amortizaciją šiandieniniams itin tiksliams procesams.
Rezultatas? Paslėpti derliaus praradimai, kalibravimo poslinkis ir priešlaikinis įrangos susidėvėjimas{0}}kasmet kainuojantys milijonus.
Įveskite polimero -pririštą mineralinį liejimą: tikslinį-inžinerinį sprendimą, kuris greitai tampa pasirenkama medžiaga naujos-kartos litografijos įrankiams, plokštelių tikrinimo sistemoms ir atominiams-jėgos mikroskopams. Štai kodėl pirmaujantys puslaidininkinės įrangos gamintojai keičiasi{5}}ir mato išmatuojamą IG.
Tikroji vibracijos kaina nanoskalės gamyboje
Mažesniuose nei 5 nm mazguose grindų vibracija net 50 nm/s RMS gali sukelti:
Perdangos klaidos EUV litografijoje
Klaidingas defektas iškviečia optinį patikrinimą
CD{0}}PVR matavimų poslinkis
Neseniai atliktas atvejis pirmaujančioje Azijos liejykloje atskleidė, kad dėl nekontroliuojamų bazinių vibracijų kritiniame lygmenyje sumažėjo 1,2 % išeiga, o tai reiškia, kad vienoje gamybos linijoje per mėnesį buvo prarasta daugiau nei 4,7 mln. USD pajamų.
Tradicinės bazės tiesiog negali atskirti šių mikro{0}}trikdžių. Granitas, nors ir yra stabilus, turi prastą vidinį slopinimą. Plieniniai rėmai rezonuoja. Abu jie perduoda aplinkos triukšmą tiesiai į jautrias įrankių ašis.
Mineralinis liejimas ir tradicinės medžiagos: palyginus slopinimo efektyvumą
| Medžiaga | Slopinimo koeficientas (ζ) | Vibracijos perdavimas 100 Hz |
|---|---|---|
| Granitas | 0.001 – 0.002 | ~85% |
| Ketaus | 0.002 – 0.004 | ~75% |
| Mineralų liejimas | 0.008 – 0.020 | <30% |
Mineralinio liejimo paslaptis slypi kompozicinėje mikrostruktūroje: smulkūs užpildai, surišti epoksidine/polimerine derva, sukuria vidinę trintį, kuri išsklaido vibracinę energiją kaip šilumą. Tai užtikrina 3–10 kartų didesnį slopinimą nei granitas-, neprarandant standumo ar terminio stabilumo.
Realūs -perdavimo funkcijų testai rodo, kad mineralinio liejimo pagrindai slopina aukšto-dažnio vibracijas (50–500 Hz)-tikslius aušintuvų, siurblių ir robotų prižiūrėtojų-sukurtus diapazonus daug veiksmingiau nei įprastos alternatyvos.
Didesnė IG: mažesnis defektų lygis, ilgesnis įrankio tarnavimo laikas
Perėjimas prie mineralinio liejimo pagrindo yra ne tik tikslumas,{0}}tai pelningumo svertas:
Sumažėjęs klaidingų atmetimų kiekis metrologijoje → didesnis efektyvus derlius
Mažesnis mechaninis įtempis pakopoms ir pavaroms → ilgesnis komponentų tarnavimo laikas
Mažiau pakartotinių kalibravimų → ilgesnis įrankio veikimo laikas
Vienas Europos puslaidininkinės įrangos originalios įrangos gamintojas integravo mineralinio liejimo pagrindus į savo naujos kartos plokštelinius zondelius. Per 18 mėnesių jie pranešė:
0,9 % didesnis galutinio testo išlaikymo rodiklis
22% sumažinamos priežiūros intervencijos
Tik 14 mėnesių atsipirkimo laikotarpis, kai sutaupytas derlius ir paslaugos
Realūs Fab duomenys: 2,3 % pajamingumo padidėjimas po bazės atnaujinimo
1 pakopos-atminties gamintojas šešių svarbių perdangos metrologijos įrankių bazes modifikavo su specialiai sukurtomis mineralų liejimo platformomis iš Unparalleled Group. Per tris mėnesius:
Perdangos klaida (vidurkis + 3σ) sumažintas 31 %
Įrankių suderinimas pagerėjo 40 % visame parke
Galutinė štampų išeiga padidėjo 2,3 % pažangių 1 DRAM mazgų
„Mineralinio liejimo pagrindas ne tik slopino vibracijas,{0}}tai stabilizavo visą matavimo procesą. Mums tai verta dešimčių milijonų metinės produkcijos.
- Vyresnysis procesų integravimo inžinierius, Pietų Korėja
Ar jūsų įranga praranda pinigus dėl nematomų vibracijų?
Nespėk. Išmatuokite, modeliuokite ir išspręskite-su ekspertų pagalba.
Unparalleled Group dabar siūlo nemokamą vibracijos poveikio vertinimą puslaidininkinės įrangos komandoms. Tiesiog įkelkite savo:
Įrankio tipo ir jautrumo specifikacijos
Montavimo aplinka (grindų klasė, šalia esanti technika)
Dabartinė pagrindinė medžiaga ir pastebėtos nestabilumo problemos
Mūsų inžinierių komanda išanalizuos jūsų vibracijos rizikos profilį ir pateiks tinkintą mineralinio liejimo pagrindo pasiūlymą,{0}}įskaitant numatomą slopinimo efektyvumą, IG laiko juostą ir integravimo gaires.