Dideliuose{0}}puslaidininkių gamybos ir pažangiosios optikos pasauliuose paklaidos ribos-neegzistuoja. Nesvarbu, ar tai būtų tinklinis etapas EUV litografijos aparate, ar sudėtingas lęšis, skirtas kosminiam vaizdavimui, tikslūs stiklo komponentai yra labai svarbūs. Tačiau stiklą labai sunku apdirbti; jis trapus, linkęs į mikro-įtrūkimus ir jautrus šiluminiam šokui.
Įmonėje UNPARALLELED praleidome dešimtmečius įsisavindami stiklo fiziką. Sujungę pažangų apdorojimą lazeriu su tradiciniu itin-tiksliu šlifavimu, stiklo „trapumą“ pavertėme konkurenciniu pranašumu savo klientams. Šiame straipsnyje nagrinėjama, kaip įveikiame sunkiausias pramonės gamybos kliūtis.
⚡ Iššūkis: „Chip“ išvengimas
Pagrindinis optinio stiklo apdirbimo priešas yra „skaldymas“ arba „kraštas 崩“ (beng). Tradicinis mechaninis pjovimas dažnai palieka mikro{1}}lūžius, kurie pažeidžia detalės struktūrinį vientisumą. Naudojant puslaidininkius, šie mikro-įtrūkimai gali sukelti dalelių užteršimą arba katastrofišką gedimą vakuume.
Mūsų sprendimas: „šaltas“ metodas
Mes naudojame pažangią pikosekundės (Ps) lazerinio apdorojimo technologiją. Skirtingai nuo tradicinių lazerių, kurie lydo medžiagą (sukuria karščio paveiktą zoną), mūsų Ps lazeriai veikia „šaltos abliacijos“ principu.
Sublimacija per lydymą: itin trumpi impulsai (10⁻¹² sek.) tiesiogiai nutraukia molekulinius ryšius, kietąjį stiklą paverčia plazma, nekaitinant aplinkinės zonos.
Nulinė šilumos paveikta zona (HAZ): taip pašalinama šiluminė įtampa ir mikro{0}}įtrūkimai.
Rezultatas: pasiekiame < 5 µm (ir dažnai < 2 µm) briaunų drožles, todėl efektyviai nebereikia atlikti didelio poliravimo po- apdorojimo.
🌡️ Iššūkis: terminis stresas ir deformacijos
Stiklas plečiasi ir traukiasi keičiantis temperatūrai. Puslaidininkinių stiklo dalių, naudojamų litografijoje ar plokštelių tikrinimui, net mikronas nuokrypis yra nepriimtinas. Standartiniai apdorojimo metodai gali sukelti vidinį įtempimą, dėl kurio ilgainiui stiklas deformuojasi.
Mūsų sprendimas: nulinis{0}}streso kūrimas
Specializuojamės ultra{0}}mažo išsiplėtimo (ULE) stiklo ir didelio grynumo lydyto silicio dioksido (HPFS) apdirbime.
Nemokamas apdirbimas-: mūsų segmentinio lazerinio nuskaitymo ir impulsinės energijos gradacijos metodai užtikrina, kad energija būtų paskirstyta tolygiai, užkertant kelią vietiniam streso padidėjimui.
Medžiagų kompetencija: nuo Corning ULE® iki Zerodur® suprantame konkrečius pjaustomų medžiagų šiluminius koeficientus.
Stabilumas: mūsų komponentai išlaiko savo geometrinį tikslumą net ekstremalioje puslaidininkių gamybos įmonių aplinkoje.
🔬 Iššūkis: paviršiaus kokybė ir{0}}paviršiaus pažeidimai
Optikoje paviršiaus šiurkštumas lemia šviesos pralaidumą. Puslaidininkiuose jis diktuoja švarą. Mechaninis šlifavimas dažnai palieka „paviršiaus pažeidimus“-slepiasi po paviršiumi, kurie vėliau gali išplisti.
Mūsų sprendimas: hibridinė gamyba
Tikslų mechaninį šlifavimą deriname su magnetorheologiniu apdaila (MRF) ir poliravimu lazeriu.
Išlyginimas lazeriu: tam tikroms reikmėms naudojame kontroliuojamą lazerinį lydymą, kad paviršių išlygintume iki < 0,1 µm šiurkštumo (Ra) be fizinio kontakto.
MRF poliravimas: Sudėtingoms asferinėms formoms mes naudojame magnetinius skysčius, kad pašalintume medžiagą atominiu lygiu, kad paviršiaus šiurkštumas būtų net mažesnis kaip Ra < 7 nm.
Patikra: mes ne tik spėliojame; mes patikriname. Naudodami baltos šviesos interferometriją ir 3D paviršiaus profiliuotojus užtikriname, kad kiekviena dalis atitinka griežčiausius ISO 10110 optinius standartus.
🚀 Programos, skatinančios ateitį
Mūsų galimybėstikslūs stiklo komponentaileidžia pasiekti proveržių pagrindiniuose sektoriuose:
Puslaidininkinė litografija: tinklinių etapų ir veidrodžių, kurie atlaiko didelės-energijos EUV spinduliuotę be deformacijų, gamyba.
MEMS ir jutikliai: stiklo dangtelių ir pagrindų kūrimas su per{0}}stikliniais angomis (TGV), kurios užtikrina geresnį aukšto{1}dažnio našumą nei silicis.
Medicinos ir biologijos{0}}technologijos: mikro-skysčių kanalų ir biologinių{2} lustų apdirbimas be nulinių įbrėžimų, siekiant užtikrinti tikslią biologinę analizę.
Kodėl verta bendradarbiauti su UNPARALLELED?
Stiklo apdirbimas yra ne tik pjovimas; kalbama apie materialios sielos supratimą.
Technologijų lyderis: naudojame pramonėje{0}}pirmaujančias Ps lazerines sistemas ir didelio-tikslumo šlifavimo centrus (pvz., Satisloh SPM seriją).
Sudėtinga geometrija: nuo giliai reaktyviųjų jonų ėsdinimo (DRIE) struktūrų iki sudėtingos 3D laisvos formos optikos – tvarkome formas, kurių kiti negali.
Paslauga nuo pabaigos-iki-: nuo žaliavos parinkimo (lydyto silicio, safyro, zeroduro) iki galutinės metrologijos valdome visą procesą.
Neleiskite, kad medžiagų apribojimai lemtų jūsų dizainą. Pagaminkime tai, kas neįmanoma.
Susisiekite su UNPARALLELED šiandien ir aptarkite savo itin{0}}tikslaus stiklo reikalavimus.