Mechaninis kontaktas yra nanometrinio tikslumo priešas. Oro guoliai ant tikslaus granito arba keraminių kreiptuvų pašalina trintį, nusidėvėjimą ir vibraciją. Įprastas 5-10 μm skrydžio aukštis ir nulinis-trinties judėjimas, šios sistemos įgalina 10 nm skiriamąją gebą, reikalingą pažangiai puslaidininkinei litografijai ir aukščiausios klasės metrologijai.
1. Trinties pašalinimas: kelias į begalinį mechaninį gyvenimą
Kadangi tarp judančių dalių nėra fizinio kontakto, oro guolių sistemos nesusidėvi. Taip užtikrinama, kad pradinis nuskaitymo etapo kalibravimas galiotų daugelį metų. Aukšto-darbo ciklo aplinkoje, pvz., plokštelių nuskaitymo, šis „begalinis tarnavimo laikas“ sumažina priežiūros išlaidas ir pašalina tepimo poreikį, kuris yra būtinas švarios patalpos reikalavimams užtikrinti.
2. Mažesnio-mikrono tiesumo pasiekimas dideliais atstumais
When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000 mm), tai leidžia sukurti nuoseklų judėjimo profilį su minimaliomis kampinėmis paklaidomis (žingsnis, posūkis, posūkis).
3. Vibracijos izoliacija ir judesio sklandumas
Mechaniniai guoliai (rutuliniai arba ritinėliai) sukuria „recirkuliacijos triukšmą“, kuris trukdo atlikti jautrius matavimus. Oro guoliai veikia ant plonos suslėgto oro plėvelės, suteikdami natūralų vibracijos slopinimo efektą. Tai lemia itin sklandų judesį su nežymiu greičio bangavimu, o tai labai svarbu didelės-raiškos vaizdams ir nanometro- masto paviršiaus profiliavimui.
4. Kodėl granitas ir keramika yra pagrindiniai orą laikantys substratai?
Oro guolio veikimas visiškai priklauso nuo paviršiaus, ant kurio jis plūduriuoja, kokybės. Jinan juodasis granitas ir techninė keramika užtikrina ypatingą plokštumą ir šiluminį stabilumą, reikalingą pastoviam 5 μm oro tarpui palaikyti. Bet koks terminis pagrindo deformavimas sugadintų guolį, todėl medžiagos pasirinkimas taps svarbiausiu inžineriniu sprendimu.
5. Integravimas: oro guolių ir tiesinių variklių derinimas
Kad pasiektume didelės spartos{0}}nano skalės padėties nustatymo, integruojame be geležies linijinius variklius su oro guolių pakopomis. Šis derinys pašalina „sukibimą“ ir magnetines traukos jėgas, užtikrindamas švariausią įmanomą judesį. UNPARALLELED siūlome visą mechaninį surinkimą, įskaitant granitinį pagrindą, oro guolių ritinius ir variklio tvirtinimo sąsajas.
Oro guoliai prieš mechaninius linijinius kreipiklius
|
Funkcija |
Oro guoliai |
Mechaniniai ritininiai kreiptuvai |
|---|---|---|
|
Trintis |
Nulis (statinis ir dinaminis) |
Vidutinis (slydimo{0}}efektas) |
|
Susidėvėjimas ir priežiūra |
Nėra |
Didelis (reikalingas tepimas) |
|
Rezoliucija |
Nanometro lygis |
Mikronų lygis |
|
Vibracija |
Itin žemas |
Didelis (recirkuliacijos triukšmas) |
|
Švarios patalpos įvertinimas |
1 klasė (tobula) |
100/1000 klasė (reikalingas sandarinimas) |
|
Kaina |
Premium |
Standartinis |
DUK: Oro guolių technologija
1 klausimas: kas atsitiks, jei sugenda oro tiekimas?
A. Kad išvengtume žalos, naudojame avarinio tūpimo paviršius arba „kieta{0}}dengtas“ keramines sąsajas. Taip pat rekomenduojame slėgio jutiklius, kurie įjungia avarinį stabdymą ir įjungia mechaninius stabdžius, jei oro slėgis nukrenta žemiau kritinės ribos.
2 klausimas: kokia oro kokybė reikalinga šiems guoliams?
A: Oras turi būti filtruojamas, sausas ir be alyvos-. Paprastai nurodome ISO 8573-1 1.4.1 klasės oro kokybę, siekdami užtikrinti, kad jokios dalelės ar drėgmė neužkimštų mažesnių nei mikronų oro guolių ritinėlių angų.
3 klausimas: ar oro guoliai gali veikti vakuume?
A: Taip, bet jiems reikia vakuuminio-iš anksto pakrauto dizaino arba specializuotų diferencijuotai pumpuojamų sandariklių, kad oras nepatektų į vakuuminę kamerą. Tai yra įprasta pažangiuose EUV puslaidininkiniuose įrankiuose.
4 klausimas: kaip oro guoliai atlaiko dideles apkrovas?
A: Padidinus guolių ritinėlių paviršiaus plotą ir oro slėgį (paprastai 0,5–0,6 MPa), galime išlaikyti apkrovas nuo kelių gramų iki kelių tonų su tokia pačia trinties charakteristika.
5 klausimas: ar sunku sumontuoti oro guolių stadijas?
A: Jie reikalauja tikslaus išlyginimo ir labai plokščio atskaitos paviršiaus. Štai kodėl UNPARALLELED paprastai pateikia oro guolius, iš anksto-sumontuotus ir išbandytus ant mūsų tikslaus granito pagrindo, kad būtų užtikrintas „-iš{3}}dėžutės“ veikimas.
6 klausimas: koks yra pagrindinis CMM gamintojų pranašumas?
A: Greitis ir tikslumas. Oro guoliai leidžia CMM zondui judėti daug greičiau, nesukeliant vibracijos, todėl tikrinimo ciklai yra greitesni ir sudėtingesnės geometrijos, esančios šiuolaikiniuose kosmoso varikliuose, tikslumas.