Apžiūros, klijavimo ir litografijos pagalbinei įrangai puslaidininkių gamybos linijose granitinės lentelės skiriasi nuo įprastų metrologijos platformų. Be statinių geometrinių nuokrypių, jie turi užtikrinti patikimą apkrovą ir ilgalaikį matmenų stabilumą realiomis eksploatavimo sąlygomis. Daugelyje projektų atrankos metu dėmesys sutelkiamas tik į lygumo parametrus, neatsižvelgiant į apkrovos reikalavimų ir tikslumo lygių atitiktį. Pradėjus eksploatuoti stalai patiria mikrodeformaciją veikiant apkrovai ir pasikartojančiam padėties poslinkiui, o tai tiesiogiai sumažina puslaidininkių gaminių išeigą. Turėdamas didelę patirtį tiekiant tikslius granito komponentus puslaidininkių pramonei ir daugybe užsienio gamybos linijų projektų nuorodų, UNPARALLELED nustato granitinių lentelių apkrovos ir tikslumo klasių atitikimo logiką tikromis puslaidininkių linijos darbo sąlygomis, pateikdamas informacijos apie įrangos tyrimus, plėtrą ir pirkimą.
Puslaidininkinės įrangos granitiniuose staluose yra kreipiamųjų bėgelių moduliai, judančios skaidrės, optiniai lęšiai, vakuuminiai mazgai ir įvairios pagalbinės konstrukcijos. Bendra apkrova apima statinį svorį ir kintamą dinaminę apkrovą iš judančių dalių. Užuot tik nurodant vardinį įrangos svorį, turi būti skirta pakankamai atsargų judėjimo poveikiui ir būsimam modulio modifikavimui. Jei stalo storis ir atramos išdėstymas nėra patikrintas pagal faktinę apkrovą, mikronų mastelio deformacija, kurią sukelia savaiminis svoris ir taikoma apkrova, atsiras net tada, kai šlifavimo tikslumas atitinka gamyklos specifikacijas. Plokštumas ir lygiagretumas nukryps, todėl vaizdas bus neryškus ir išlygiavimo nukrypimas. Parenkami aukštos kokybės granito ruošiniai su tankiais grūdeliais ir minimaliais vidiniais defektais, po kurių atliekami keli pastovios temperatūros sendinimo ciklai, kad būtų pašalintas vidinis liekamasis įtempis. Tai užkerta kelią nuolatiniam įtempių atleidimui, kurį sukelia kombinuota apkrova ir vibracija, o tai sugadintų atskaitos etaloną.
Tikslumo laipsniai turi atitikti praktinius skirtingų puslaidininkių linijų stočių reikalavimus; siekti maksimalaus tikslumo kiekvienai darbo vietai nebūtina. Patikrinimo ir išlyginimo stotys reikalauja griežto lygiagretumo, statmenumo ir stalo plokštumo, todėl lenteles reikia apdoroti iki mikronų tikslumo. Medžiagų apdorojimo ir pirminio apdorojimo stotyse tikslumo rodiklius galima atitinkamai sumažinti, kad būtų suderintos sąnaudos ir pristatymo laikas nepažeidžiant funkcionalumo. Tikslumo konstrukcija turi būti glaudžiai susijusi su apkrovos sąlygomis. Didesnį šlifavimo tikslumą kompensuos apkrovos sukelta deformacija, jei stalo konstrukcijos storis yra nepakankamas esant didelėms apkrovoms. Todėl stalo storis, svorio mažinimo angos išdėstymas ir atramos taškų pasiskirstymas turi būti nustatomi pagal apkrovos dydį. Svorį mažinančių angų negalima savavališkai didinti, nes priešingu atveju sumažėja vietinis standumas ir atsiranda įdubimų deformacija veikiant apkrovai.
Įterptosios konstrukcijos taip pat turi atitikti apkrovos laipsnius. Didelio sukimo momento tvirtinimo taškai ant puslaidininkinės įrangos visiškai priklauso nuo įterptųjų plieninių movų. Didelio stiprumo įdėklai pritaikyti didelės apkrovos zonoms, kad būtų išvengta įdėklų atsipalaidavimo arba vietinio įtrūkimo esant didelei apkrovai. Apdirbimo darbo eiga pirmenybė teikiama skylių gręžimui, įdubimui ir įdėklų montavimui prieš bendrą šlifavimą, pašalinant įtempius, atsirandančius dėl tolesnio medžiagos pašalinimo. Atsižvelgiant į nedidelę vibraciją vietoje ir temperatūrų svyravimus konstrukcijų viduje, be vardinių parametrų turi būti įvertintas ir atsparumas valkšnumui, kad tikslumo poslinkis būtų palaikomas priimtinose ribose 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę.
Viso ploto kelių taškų patikra yra privaloma prieš pristatymą, o ne dalinė patikra vietoje. Geometrinės leistinos nuokrypos tikrinamos imituojamos apkrovos sąlygomis, o visos mašinos surinkimo patvirtinimui pateikiamos atsekamos patikros ataskaitos. Turėdama ISO sistemos sertifikatus, CE sertifikatus ir daugiau nei šimtą patentų bei prekių ženklų, UNPARALLELED atlieka skirtingų puslaidininkių linijų stočių apkrovos modeliavimą ir tikslumo schemų vertinimą, pristato pagal užsakymą pagamintas granito lenteles per 2 savaites ir aptarnauja pasaulinius puslaidininkinės ir tiksliosios optinės įrangos gamintojus.
Renkantis granito stalą puslaidininkių gamybos linijose, tikslumo negalima įvertinti nepriklausomai nuo apkrovos sąlygų. Visapusiškai atsižvelgus į statinę-dinaminę apkrovą, konstrukcijos tvirtumą, tikslumo laipsnį ir gamyklos darbo aplinką, išvengiama prasto lauko veikimo nepaisant įspūdingų vardinių parametrų ir užtikrinamas ilgalaikis stabilus puslaidininkinės įrangos veikimas.





