Itin tikslios įrangos patikimumas priklauso ne tik nuo jos mikronų ir nanometrų tikslumo pristačius, bet ir nuo etaloninių paviršių tikslumo išlaikymo po gamybos metų. Kaip pagrindinės apkrovos atskaitos taškas puslaidininkių tikrinimo, lazerinio apdorojimo ir metrologijos kalibravimo įrangai, granitinės vibraciją slopinančios platformos yra nuolatos veikiamos apkrovos slėgio, cikliškų temperatūros ir drėgmės pokyčių aplinkoje, dulkių ir šiukšlių, alyvos užteršimo, taip pat iškilimų keliant ir transportuojant. Daugelis įrangos operatorių daugiausia dėmesio skiria vibracijos izoliacijos sistemų derinimui, tačiau nepaiso sistemingos etaloninių paviršių apsaugos ir mokslinės priežiūros. Bėgant eksploatacijos laikui, platformos plokštumas ir statmenumas palaipsniui mažėja, dėl to tiesiogiai sumažėja įrangos pakartojamumas ir nukrypsta nuo patikrinimo duomenų bei netiesiogiai didėja įrangos eksploatavimo ir priežiūros išlaidos. Nors granitui būdingi stabilių cheminių savybių ir senėjimą stabdančių savybių pranašumai, jo etaloninis paviršius nereikalauja priežiūros. Pagrįstos apsaugos strategijos ir priežiūros procedūros yra labai svarbios norint pailginti tarnavimo laiką ir išsaugoti originalų tikslumą.
Pamatinio paviršiaus pažeidimai skirstomi į dvi kategorijas: staigi žala išorinei jėgai ir lėtinė aplinkos erozija. Staigius pažeidimus dažniausiai sukelia susidūrimai su kėlimu, smūgiai į kietus daiktus arba tiesioginis smūgis į ruošinius. Dėl granito trapumo ant darbinių paviršių gali atsirasti briaunų skiedros ir vietinių duobių. Dauguma tokių fizinių pažeidimų yra negrįžtami, o vietinis taisymas vargu ar gali atkurti pradinį nanometro lygio lygumą. Lėtinė erozija paprastai nepaisoma. Susikaupusios pakabinamos metalo dulkės ir šlifavimo drožlės dirbtuvėse palaipsniui subraižys etaloninius darbinius paviršius, kai įrankiai slysta pirmyn ir atgal. Pjovimo skystis ir tepimo alyva gali nusėsti ir susimaišyti su dulkėmis, kad susidarytų tvirti purvo sluoksniai. Šiluminis įtempis, kurį sukelia paros ir sezoniniai temperatūros ciklai, kartu su ilgalaike ekscentrine įrangos apkrova, lėtai pakeis etaloninių paviršių eksploatavimo sąlygas. Daugeliu atvejų, kai naudotojai praneša apie platformos tikslumo sumažėjimą, pati akmens medžiaga nesugenda; Vietoj to, degradacija kaupiasi dėl nepakankamų kasdienės apsaugos detalių.
Prevencinė apsauga yra svarbesnė už po remonto. Tinkamas apsaugos išdėstymas ankstyvoje aptarnavimo stadijoje gali žymiai sumažinti vėlesnį techninės priežiūros darbo krūvį. Montuojant įrangą, platformos kraštai ir kampai turi būti gerai apvynioti, kad būtų apsaugoti kėlimo operacijose. Plieniniai vieliniai lynai neturi tiesiogiai liestis su darbiniais paviršiais ir aštriais kraštais. Lyginant ir statant reikia vengti stipraus taškinio smūgio. Platforma turi būti kuo toliau nuo staklių drožlių šalinimo angų ir purškimo stočių, kad būtų sumažintas drožlių ir aušinimo skysčio purslų kiekis. Nuimamus apsauginius dangčius galima sumontuoti netrukdant įrangos eigos judesiams, siekiant apsaugoti etaloninius darbinius paviršius nuo dulkių ir šiukšlių išjungimo metu. Apkrovos turi būti paskirstytos tolygiai, kad būtų išvengta deformacijos rizikos, kurią sukelia ilgalaikis koncentruotas taškinis įtempis. Vibracijos izoliacijos komponentus reikia periodiškai tikrinti. Vibraciją izoliuojančių trinkelių senėjimas ir gedimas sustiprins žemės vibracijos poveikį ir netiesiogiai pagreitins etaloninio paviršiaus susidėvėjimą.
Įprastai priežiūrai vietoje turi būti taikomos standartizuotos procedūros, o grubūs valymo metodai yra draudžiami. Norint pašalinti palaidas šiukšles, pageidautina naudoti minkštus šepetėlius ir šluostes be dulkių. Plieniniai šepečiai ir kietieji grandikliai niekada neturi būti naudojami darbiniams paviršiams subraižyti. Neutralią skalbimo priemonę kartu su minkštu skudurėliu be dulkių galima tepti sunkiai įveikiamas aliejaus dėmes, po to kruopščiai išdžiovinti; skystis neturi ilgai likti ant akmens paviršių. Niekada nemuškite ir netiesinkite ruošinių tiesiai ant granito atskaitos paviršių. Tokie vietoje įpročiai sukels nematomus mikroįdubimus ir palaipsniui pablogins vietinį lygumą. Darbinių paviršių ir kraštų vizualinė apžiūra, ar nėra įbrėžimų ir įbrėžimų, baigiama po valymo, o eksploatavimo sąlygos registruojamos, kad būtų sudarytos paprastos naudojimo ir priežiūros bylos.
Periodinė tikslumo patikra yra būtina techninės priežiūros dalis ir negali pasikliauti tik vizualiu vertinimu. Patikrinimo ciklai skiriasi priklausomai nuo operacijos sunkumo: metrologijos ir laboratorijos aplinkos metinės tikslios patikros; pusmetinis lygumo ir rakto statmenumo patikrinimas rekomenduojamas dulkėtoms gamybos linijoms, veikiančioms 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę. Patikra turi būti atliekama esant pastovioms pastovios temperatūros sąlygoms, kad būtų pašalintos matavimo paklaidos, kurias sukelia temperatūros gradientai. Nustačius tikslumo nuokrypį, turi būti nustatytos pagrindinės priežastys, kad būtų galima atskirti vibracijos izoliacijos sistemos gedimą, pamato nuosėdas arba etaloninio paviršiaus susidėvėjimo pažeidimus. Vietoj aklo pakartotinio šlifavimo turi būti priimti tikslingi sprendimai.
Remontas ir atnaujinimas turi būti atliekami apdairiai. Granito etaloninių paviršių pakartotinis šlifavimas yra labai tikslus apdorojimas ir jo negalima atlikti vietoje. Nedideli įbrėžimai už veiksmingų darbo sričių ribų gali leisti toliau naudoti po įvertinimo. Esant dideliam darbinių paviršių susidėvėjimui arba kraštų atskilimui, įprastos apdirbimo dirbtuvės nėra tinkamos apdoroti. Produktai turi būti siunčiami atgal profesionaliems gamintojams, kad jie perdengtų pastovios temperatūros ir drėgmės dirbtuvėse. Po to turi būti atlikta visa metrologinė patikra, siekiant patvirtinti kvalifikuotą tikslumą prieš pradedant vėl naudoti. Kai kurie rinkoje esantys paprasti vietoje atliekami užtaisymo sprendimai užtikrina tik kosmetinį užpildymą ir neatkuria mikronnanometro geometrinės atskaitos; dėl netinkamo naudojimo atsiras naujų lygumo klaidų.
Yra paplitusi klaidinga nuomonė, kad stabilus granito veikimas reiškia, kad nereikia jokios priežiūros. Granito vibraciją slopinančios platformos pasižymi senėjimą stabdančiomis ir cheminėms medžiagoms atspariomis savybėmis, tačiau jos negali atsispirti žalai dėl išorinės jėgos ir trinties. Pilna priežiūros sistema apima montavimo etapo apsaugą, kasdienę priežiūrą, periodinę patikrą ir mokslinį atnaujinimą. Apsaugos ir priežiūros integravimas į viso gyvavimo ciklo įrangos valdymą leidžia granitinėms vibraciją slopinančioms platformoms išlaikyti originalų etaloninį našumą ir užtikrinti ilgalaikį patikimą itin tikslios įrangos etaloninį palaikymą.