Žiauri vaflių scenos šilumos kaupimosi realybė
Esant dideliam{0}}greičiui, lazeriai ant plokštelės griebtuvo sukuria intensyvią vietinę šilumą. Jei naudojate nerūdijantį plieną arba aliuminį, ši šiluma sukelia mikroskopinį šiluminį plėtimąsi. 2 nm mazge net 1 nm poslinkis sukelia tiesiogines perdangos klaidas ir sugadintus silicio plokšteles.
Silicio karbido standumo fizikos išpakavimas
Silicio karbidas pasižymi ypatingu 330 GPa tamprumo moduliu, todėl jis tris kartus standesnis nei ketaus. Šis ypatingas tvirtumas leidžia apdirbti lengvus, tuščiavidurius-oro guolių kreipiklius. Šie kreiptuvai gali judėti dideliu greičiu nesilenkdami ar nesilankstydami pagreičio metu.
Ne{0}}magnetinio vakuumo reikalavimas puslaidininkiniuose įrankiuose
Metaliniai komponentailaikui bėgant magnetizuojasi, pritraukdami mikroskopines ore esančias daleles, kurios griauna plokštelių derlių. Mūsų pažangi SiC keramika yra 100 % ne-magnetinė ir chemiškai inertiška. Jie neišleis dujų itin-didelio vakuumo aplinkoje, išlaikydami nesugadintą,-be dalelių jūsų litografijos įrankių apdorojimo kamerą.
Puslaidininkių konstrukcinių medžiagų palyginimas
| Materialinė savybė | Silicio karbidas (SiC) | Aliuminio oksidas (Al₂O₃ 99,5 %) | Nerūdijantis plienas (316L) |
| Tamprumo modulis (E) | 330 GPa | 370 GPa | 193 GPa |
| Šiluminė plėtra (CTE) | 3.5 × 10⁻⁶/K | 8.0 × 10⁻⁶/K | 16.0 × 10⁻⁶/K |
| Šilumos laidumas | 150 W/(m·K) | 30 W/(m·K) | 16 W/(m·K) |
| Kietumas (Mosas) | 9.5 | 9.0 | 6.0 |
| Magnetinis pralaidumas | 1 000 (ne{1}}magnetinis) | 1 000 (ne{1}}magnetinis) | 1,002 (šiek tiek magnetinis) |
Techniniai DUK puslaidininkinės įrangos inžinieriams
1 klausimas: kokio grynumo žaliavos naudojate savo SiC keramikai?
A1: We use high-purity reaction-bonded or sintered Silicon Carbide (>99%). Tai užtikrina, kad medžiaga išlaikys vienodas fizines savybes ir nepateks į švarią patalpą metalinių teršalų pėdsakų.
2 klausimas: kaip apdirbate tikslias skyles 9,5 Moso kietumo SiC?
A2: Mes naudojame kelių{1}}ašių CNC šlifavimo stakles su deimantiniais{2}}antgaliais. Kadangi SiC yra neįtikėtinai kietas, apdirbimo procesą atliekame esant nuolatiniam skystam aušinimo skysčiui, kad išvengtume terminio įtrūkimų ir išlaikytume mikro{4}}tolerancijas.
3 klausimas: kodėl turėčiau rinktis SiC, o ne aliuminio oksidą (Al2O3)?
A3: Nors aliuminio oksidas yra standus, SiC turi penkis kartus didesnį šilumos laidumą (150 W/m•K). Tai leidžia SiC daug greičiau išsklaidyti šilumą, užkertant kelią vietinėms karštoms vietoms, kurios sukelia netolygų šiluminį plėtimąsi.
4 klausimas: kokį paviršiaus šiurkštumą (Ra) gali pasiekti jūsų keraminiai griebtuvai?
A4: Naudodami specializuotus deimantinius glaistymo mišinius, galime nupoliruoti aktyvius paviršius iki mažesnio nei 0,02 μm paviršiaus šiurkštumo (Ra), o tai suteikia itin plokščią sąsają plokštelių tvirtinimui.
5 klausimas: Ar galite pagaminti pagal užsakymą lengvus vidinius šonkaulius?
A5: Taip. Mes specializuojamės sudėtingų, tuščiavidurių vidinių konstrukcijų apdirbime. Tai sumažina komponento masę iki 60%, išlaikant aukštą konstrukcinį standumą, leidžiantį daug greičiau įsibėgėti.
6 klausimas: kaip ši keramika reaguoja į greitus šiluminius smūgius?
A6: Dėl didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio plėtimosi SiC neįtikėtinai gerai atlaiko šiluminį smūgį. Greitų, aukštos temperatūros apdorojimo ciklų metu jis mikro-nelūžta ir nesikreips.