Puslaidininkinės švarios patalpos yra pagrindinės lustų gamybos gamybos nešiklis. Laikydamiesi ISO švarumo klasifikavimo standartų, jie nustato griežtus trukdžiusių veiksnių, tokių kaip mikro-dalelės, statinė elektra, magnetiniai laukai ir temperatūros bei drėgmės svyravimai, apribojimus. Plokščių tikrinimo įrangos, PCB gręžimo staklių, sunkiųjų -XY linijinių variklių platformų ir optinių bandymo prietaisų kreipiamojo bėgelio vertikalumas ir darbo stalo stačiakampis kampas tiesiogiai lemia procesų, įskaitant fotolitografiją, plonos{5} plėvelės nusodinimą ir plokštelių zondavimą, lustą.
Įprasti plieno ir ketaus bandomieji kvadratai, naudojami švariose patalpose, sukelia daugybę pramonės problemų. Metalinės medžiagos yra magnetiškai laidžios; patalpinti arti optinių jutiklių ir tiksliųjų zondų, jie sukuria elektromagnetinius trukdžius, kurie iškraipo įrangos matavimo signalus. Plienas pasižymi dideliu šiluminio plėtimosi koeficientu. Net esant nedideliems temperatūros svyravimams termostatu valdomose švariose patalpose, atskaitos kampas nuolat kinta ilgai naudojant. Metaliniai paviršiai yra linkę oksiduotis ir rūdyti. Šluostydami ir valydami susidaro metalinių šiukšlių, kurios užteršia švarias erdves ir dėl per didelio dalelių skaičiaus kelia grėsmę laužui. Įprastuose marmuriniuose matuokliuose yra daug vidinių porų, kurios lengvai sulaiko dulkes ir pasižymi mažu kietumu. Atliekant dažnas kalibravimo operacijas, atskaitos kraštai greitai nusidėvi, todėl nebelieka jų nano-skalės kalibravimo galimybės. Išskirtinės fizinės ir cheminės akmens savybės, suderinamos švarios patalpos{9} apdorojimo technologijos ir visa-proceso atsekama metrologijos sistema, didelio-tankio granito tri{12}kvadratai tapo standartizuotais atskaitos matuokliais kalibruojant įrangos vertikalumą puslaidininkių švariose patalpose.
1. Didelio-tankio granito substratai iš esmės atitinka pagrindinius švarios patalpos reikalavimus: anti-statiniai, ne-magnetiniai ir mažai šiluminio plėtimosi
Granito tri-kvadratai, sukurti švariai puslaidininkių aplinkai, gaminami iš giliai-kasamo didelio-tankio juodojo granito, kuris per šimtus milijonų natūralaus senėjimo metų išlaisvino vidinį įtampą. Medžiaga pasižymi daug didesniu tankiu nei įprastas rinkoje esantis akmuo, o vidinė struktūra yra tanki, be porų. Tai pašalina dulkių adsorbciją ir šiukšlių išsiliejimą žaliavos etape ir visiškai atitinka švarių patalpų užterštumo kontrolės standartus.
Pirma, visiškai ne{0}}magnetinės ir izoliacinės savybės pašalina elektromagnetinių trukdžių riziką. Granite nėra magnetiškai laidžių metalinių sudedamųjų dalių, kurių magnetinis jautrumas yra artimas nuliui. Padėtas šalia plokštelių tikrinimo įrankių, CD-SEM ir CMM zondų, jis nesutrikdys tikslių jutimo signalų ir nepritrauks smulkių metalinių dulkių dalelių iš dirbtuvių. Nereikia jokio papildomo išmagnetinimo apdorojimo, todėl tinka kalibruoti visų tipų puslaidininkinius tiksliuosius prietaisus, labai jautrius magnetiniams laukams.
Antra, ypač mažas šiluminio plėtimosi koeficientas apsaugo nuo nuorodų nukrypimo termostatu valdomose dirbtuvėse. Net esant nedideliems ±1 laipsnio temperatūros svyravimams dėl švarių patalpų oro kondicionavimo sistemų, didelio-tankio granito matmenų deformacija yra tik viena-dešimtoji plieno deformacija. 90 laipsnių dešiniojo Ciklinės įrangos kalibravimo duomenys užtikrina puikų pakartojamumą, išvengiant klaidingo kreipiamojo bėgio vertikalumo įvertinimo dėl gabaritų šiluminės deformacijos ir sumažinant masės lustų defektų riziką.
Trečia, itin kompaktišką, korozijai{0}}atsparią medžiagą lengva valyti ir ji atitinka įprastos švarios patalpos veikimo specifikacijas. Akmenyje nėra kapiliarinių porų. Specialios švarių patalpų servetėlės, suporuotos su neutraliomis valymo priemonėmis, gali greitai nuvalyti likusias paviršiaus daleles, nesulaikydamos nešvarumų ir dulkių. Medžiaga atspari rūgščių, šarmų ir pjovimo skysčių korozijai. Kai naudojamas šalia plokštelių valymo ir PCB gamybos linijų, ilgalaikis technologinių cheminių medžiagų poveikis nesukels paviršiaus korozijos ar miltelių išsiliejimo, todėl bus palaikomi nuoseklūs švarios patalpos standartai.
2. Išskirtinis-be dulkių ir vibracijos-atskirtas apdorojimo įrenginys užtikrina vidinį tri-kvadratinį nano-mastų įrangos kalibravimo tikslumą
Puslaidininkinė įranga nustato griežtus pagrindinius tikslumo reikalavimus kalibravimo nuorodoms. Bet kokie apdirbimo defektai dėl tri-kvadrato lygumo, vertikalumo ar lygiagretumo tiesiogiai padidins įrangos kreipiamųjų bėgių klaidas. Visi didelio -tankio granito tri-kvadratai yra apdirbami nepriklausomoje puslaidininkių{5} klasės švarioje patalpoje, kurioje yra pastovi temperatūra, pastovi drėgmė ir nedulkė{6}}. Dirbtuvėse įrengtos sutirštintos karinės-betoninės grindys, perimetrinės anti-vibracijos tranšėjos ir tylūs viršutiniai kranai. Šios savybės visiškai izoliuoja šlifavimo procedūrų trukdžius nuo išorinės staklių vibracijos ir oro turbulencijos, užkertant kelią vidinei apdirbimo įtampai, kuri laikui bėgant sumažintų tikslumą.
Gamybos darbo eiga apima kelių{0}}pakopų laipsniško šlifavimo procesus. Grubus šlifavimas pašalina akmens masės perteklių, ruošiniai atsipalaiduoja, kad būtų visiškai pašalintas apdirbimo įtempis prieš pus-apdailinį šlifavimą ir nano-skalės rankinį poliravimą. Šlifavimo technikai, turintys dešimtmečių patirtį,{5}}šlifuoja etaloninius darbinius paviršius, pagrįstus subtiliu mikronų{6}lygio lytėjimo jautrumu. Gatavi produktai užtikrina stabilų nano-skalės vertikalumą ir plokštumą, o pristatymo metu pateikiamos patikimos stačiojo-kampo nuorodos. Jie atitinka griežtus aukščiausios klasės puslaidininkinės įrangos, įskaitant 300 mm plokštelių tikrinimo įrankius ir didelio tikslumo optines platformas, kalibravimo nuokrypius.
Siekiant patenkinti švarios patalpos reikalavimus dėl lengvos konstrukcijos ir be šiukšlių, tri-kvadratiniai kraštai kruopščiai pasyvinami be aštrių, lengvai nuskeltų briaunų. Transportavimo ir kalibravimo metu, pritvirtinant prie įrangos kreipiamųjų bėgių, susidūrimo metu nesusidarys akmens skeveldros, kurios užterštų švarias erdves. Paviršiai pritaikyti veidrodinio-laipsnio poliravimui ir yra išskirtinai lygūs, stabdo dulkių sukibimą ir drastiškai sumažina dirbtuvių valymo darbo krūvį.
3. Visa atsekamoji metrologijos sistema atitinka griežtus puslaidininkių pramonės atitikties ir dokumentų archyvavimo standartus
Puslaidininkių pramonė įgyvendina pasauliniu mastu suvienodintas metrologijos valdymo specifikacijas. Plokščių gaminiai, pakavimo ir bandymo dirbtuvės bei puslaidininkių laboratorijos užtikrina visišką visų pagalbinių metrologijos matuoklių išmatuotų verčių atsekamumą. Visiems įrangos kalibravimo duomenims ir matuoklių patikros ataskaitoms reikia ilgalaikio-archyvavimo, kad būtų galima atlikti gamyklos sistemos auditą, klientų gamyklos patikrinimus ir pramonės atitikties peržiūras.
Prieš pristatymą, kiekvienas didelio{0}}tankio granito tri-kvadratas yra tris kartus nepriklausomas, visapusiškas patikrinimas. Visą testavimo įrangos rinkinį sudaro importuoti aukščiausios klasės-metrologijos prietaisai, įskaitant lazerinius interferometrus, didelio-tikslumo elektroninius nivelyrus ir standartinius etaloninius įrankius. Tai atitinkamai patvirtina tri-kvadrato stačiojo-kampo kampą, atskaitos tiesumą ir viršutinių bei apatinių atskaitos paviršių lygiagretumą. Ilgalaikiai-tikslaus stabilumo bandymai atliekami imituojant pastovios-temperatūrinės statinės laikymo sąlygas švariose patalpose. Visus bandymo prietaisus periodiškai tikrina oficialios metrologijos įstaigos, o visus tikrinimo duomenis galima visiškai atsekti iki nacionalinių metrologijos institutų. Kiekvienas tri{13}}kvadratas pateikiamas su išsamia oficialia patvirtinimo ataskaita, visiškai atitinkančia privalomas ilgalaikio{14}}metrologijos įrašų puslaidininkių gaminių archyvavimo taisykles.
Mūsų įmonė turi pilną ISO trigubų valdymo sistemų sertifikatų ir CE tarptautinių autoritetingų sertifikatų rinkinį. Mūsų gaminiai atitinka visame pasaulyje pripažintus universaliuosius metrologijos standartus, įskaitant Vokietijos DIN, Amerikos ASME ir Japonijos JIS. Eksportuojami puslaidininkių gamintojams ir lustų tyrimų institutams visame pasaulyje, jie sklandžiai praeina kvalifikacijos auditą. Tarptautinės puslaidininkių grupės užtikrina netrukdomą vieningų pirkimų ir sistemų audito laikymąsi visose pasaulinėse gamybos vietose.
4. Visiškas-scenos suderinamumas su puslaidininkių gamybos linijos kalibravimo sąlygomis, palaikomas standartinis ir ne{2}}standartinis tinkinimas
Didelio-tankio granito tri-kvadratai apima visus švarios patalpos kalibravimo scenarijus visoje puslaidininkių pramoninėje grandinėje, o tai užtikrina stabilų stačiakampį-kampą skirtinguose proceso etapuose:
Plokščių tikrinimo procesai: naudojami vertikaliai kalibruoti darbo stalus ir kreipiamuosius bėgius 300/200 mm plokštelių tikrinimo įrangoje, CD-SEM ir optiniuose profilometruose. Ne-magnetinės ir mažo -plėtimo savybės prisitaiko prie didelio-tikslumo optinio tikrinimo aplinkos.
Automatizuotos PCB gamybos linijos: skirta XY judesio kreiptuvų stačiu kampu patikrinti visiškai automatinėse didelės spartos PCB gręžimo mašinose ir eksponavimo mašinose. Pjovimo-skysčio atsparumas korozijai prisitaiko prie švarių zonų, supančių dirbtuvių drėgno apdorojimo zonas.
Sunkios-tiesinės variklių platformos: vertikalumo kalibravimui renkant sunkias-XY judesio platformas ir dideles apkrovas{2}}atlaikančias stadijas visose puslaidininkių gamybos linijose. Didelis tankaus akmens tvirtumas atlaiko kontaktinį slėgį, atsirandantį dėl sunkių įrankių, užkertant kelią pamatinei deformacijai.
Metrologijos kalibravimas puslaidininkių laboratorijose: naudojami kaip standartiniai etaloniniai matuokliai nacionaliniuose puslaidininkių metrologijos institutuose ir universitetų lustų laboratorijose, kad būtų galima periodiškai tikrinti CMM ir tiksliuosius matavimo prietaisus, atitinkančius mokslinių tyrimų{0}}laipsnio metrologijos tikslumo reikalavimus.
Be standartinių specifikacijų tri-kvadratų, mes palaikome tinkintus negabaritinius, kelių{1}}griovelių ir specialios-formos nestandartinius tri-kvadratus, tiekdami išskirtines granito stačiakampio-kampo nuorodas, skirtas itin-ilgiems puslaidininkinės įrangos kreipiamiesiems darbo stalams ir viršūnėms. Dvi grupės standartizuotos gamyklos yra greta uostamiesčių, įrengtos tam skirtos žaliavų sandėliavimo aikštelės. Didelis gamybos pajėgumas vienu metu apima masinius standartizuotus pirkimus iš pagrindinių puslaidininkių gamintojų ir mažų -partijų itin-didelio tikslumo{11}}užsakymus iš lustų tyrimų ir plėtros laboratorijų su stabiliais ir kontroliuojamais pristatymo terminais.
5. Ilgalaikis stabilus veikimas
Puslaidininkinės švarios patalpos veikia be perstojo 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę. Periodiškas įrangos kalibravimas negali apimti ilgalaikio gamybos sustabdymo. Dažnas matuoklio keitimas ir kalibravimas užima daug gamybos valandų ir padidina lustų gamybos sąnaudas. Palyginti su metaliniais ir paprastais akmeniniais kvadratais, didelio-tankio granito tri-kvadratai pasižymi itin-ilgu tikslumo sulaikymo ciklu. Darbiniai paviršiai pasižymi dideliu kietumu; pakartotinis prisilietimas prie įrangos kreipiamųjų bėgių kalibravimo metu nesukels įdubimų ar įbrėžimų, o stačiojo kampo nuoroda nereikalauja antrinio kalibravimo kelerius metus. Be rūdžių ir įmagnetinimo problemų, jie pašalina reguliarų išmagnetinimą ir anti{10}}rūdžių priežiūrą, drastiškai sumažina darbo ir vartojimo išlaidas matuoklio priežiūrai.
Mes palaikome ilgalaikį{0}}techninį bendradarbiavimą su geriausiais šalies ir užsienio universitetais bei nacionaliniais metrologijos tyrimų institutais. Nuolat optimizuojame pagrindinius granito komponentų įtempių mažinimo ir nano-skalės preciziško poliravimo procesus, nuolat didindami ilgalaikį granito tri-kvadratų tikslumo stabilumą-nedulkėtoje-temperatūroje. Daugelį metų mūsų produktai buvo tiekiami pirmaujantiems pasauliniams puslaidininkių gamintojams ir lustų pakavimo bei testavimo gamykloms. Patvirtinti ilgalaikiu-realiu- eksploatavimu švariose patalpose, jie patikimai palaiko įrangos kalibravimą per visą lustų masinės gamybos darbo eigą, pelnydami platų kokybės kontrolės komandų pripažinimą visoje puslaidininkių pramonėje.
Išvada
Keturi pagrindiniai privalomi kriterijai nustato etaloninio matuoklio pasirinkimą puslaidininkių švariosioms patalpoms: -nedulkėtas veikimas, ne-magnetinės savybės, termiškai stabilus veikimas ir atsekamoji metrologija. Įprasti metalo ir paprasto akmens matuokliai negali vienu metu patenkinti visų eksploatavimo sąlygų reikalavimų. Naudojant tankų, mažo -išsiplėtimo išskirtinį granito pagrindą, puslaidininkinį-klasės-be dulkių-be vibracijos-izoliuotą precizinį apdorojimo įrenginį ir visą-proceso atsekamąją kokybės kontrolės sistemą, didelio-tankio granito vertikalią įrangą, visiškai pritaikytą visų tipų kvartalams. plokštelių gamybos, PCB apdorojimo ir puslaidininkių laboratorijos. Jie pašalina pramonės problemas, įskaitant magnetinius trukdžius, terminį dreifą, dulkių užterštumą ir greitą tikslumo pablogėjimą matuoklio šaltinyje.
Judėdami į priekį, mes ir toliau gilinsime puslaidininkiams skirtų tikslios granito metrologijos įrankių mokslinius tyrimus ir plėtrą. Nuosekliai optimizuosime švarioje patalpoje{1}}pritaikytas konstrukcines konstrukcijas ir didelio-tikslumo šlifavimo aparatus tri-kvadratams, atnaujinsime pagalbinius įrenginius, kad būtų užtikrintas pastovios-temperatūrinės dulkių{{5}neapdorojimas, ir tobulinsime metrologijos atsekamumo paslaugų sistemas, suderintas su puslaidininkių AS9100 standartais. Pagrindinėms plokštelių gamykloms, lustų pakavimo įmonėms ir puslaidininkių tyrimų laboratorijoms visame pasaulyje teikiame visus pritaikytus sprendimus standartizuotiems ir ne-standartiniams didelio-tankio granito tri{11}}kvadratams. Naudodami ilgalaikes stabilias nano{{14}kalibravimo nuorodas, užtikriname puslaidininkių švariose patalpose esančios įrangos veikimo tikslumą, stabilizuojame lustų gamybos našumą ir skatiname aukštos{{15}kokybės masinės gamybos plėtrą pasaulinei puslaidininkių pramonei.