Puslaidininkių tikrinimo darbo vietos yra itin jautrios magnetiniams trukdžiams ir vidutinei korozijai. Smulkūs magnetiniai trikdžiai arba rūdžių nuolaužos gali sukelti plokštelių padėties nukrypimus ir optinio lęšio užteršimą, tiesiogiai sumažinant lustų tikrinimo rezultatus. Tradiciniai metaliniai pagrindai tokioms reikmėms turi būdingų trūkumų. Priešingai, granito konstrukciniai komponentai išnaudoja fizines ir chemines savybes, nes jie nėra -magnetiniai ir nerūdijantys-, kad atitiktų griežtus puslaidininkių švarių patalpų eksploatavimo reikalavimus, todėl jie yra tinkamiausias etalonas plokštelių tikrinimui, vizualiniam patikrinimui ir tiksliosios metrologijos įrangai.
Puslaidininkių tikrinimo stotyse yra plačiai įrengti tiesiniai varikliai, grotelių jutikliai ir elektromagnetinės pavaros moduliai. Metaliniai pagrindai, tokie kaip plienas ir ketus, yra laidūs magnetui. Kai varikliai veikia, dažniausiai atsiranda magnetinė histerezė ir klaidinantys magnetiniai laukai. Silpni magnetiniai laukai gali sutrikdyti grotelių rodmenis ir netgi trukdyti mikroschemoms ir mikro{3}}komponentams ant plokštelių, todėl padėtis gali nukrypti. Granitas yra natūralus mineralinis užpildas be metalui laidžių ar magnetinių fazių, visiškai ne{5}}magnetinis. Varikliui veikiant nuolat, jis nesukels papildomų magnetinių laukų, iš esmės pašalindamas matavimo klaidas, atsirandančias dėl magnetinių trikdžių, ir užtikrindamas nuoseklų mikronų{7} lygio padėties nustatymą.
Aušinimo emulsijos, valymo tirpikliai ir drėgnas oras paprastai yra švariose patalpose. Metaliniai komponentai bus paveikti elektrocheminės korozijos po ilgo poveikio šioms terpėms ir gamins rūdžių miltelius. Patekusios į orą rūdžių dalelės lengvai prilimpa prie plokštelių paviršių, optinių lęšių ir aptikimo jutiklių, užteršdamos plokšteles ir gamindamos didelius kiekius sugedusių gaminių. Granitas neturi cheminių sąlygų oksidacijai ir rūdijimui. Net kai ilgai-negalima purslų aušinimo skysčio arba nuolat didelė drėgmė švariose patalpose, jis nesudaro rūdžių dėmių ar metalinių dulkių. Ji atitinka dalelių-kontrolės reikalavimus švariose dirbtuvėse ir sumažina užteršimo keliamą pavojų kokybei.
Puslaidininkių tikrinimo įrangai keliami griežti pagrindų šiluminio stabilumo ir vibracijos slopinimo reikalavimai, neskaitant -magnetinių ir rūdžių-neapdorotų savybių. Lustų tikrinimui dažnai reikia ilgo nuolatinio matavimo, o dirbtuvėse pasitaiko nedideli temperatūros svyravimai. Itin mažas granito šiluminio plėtimosi koeficientas{4}} slopina etaloninę deformaciją, kurią sukelia temperatūros svyravimai. Tuo tarpu puikus jam būdingas slopinimas sugeria vibraciją, susidarančią dideliu-greičių linijinio variklio judėjimo metu, neleidžiant vibracijai persikelti į aptikimo zondus ir stabilizuoti optinį vaizdą bei matmenų matavimą.
Puslaidininkinė įranga yra įvairių konfigūracijų. Granito komponentai gali būti pagaminti pagal užsakymą-pagal įrangos brėžinius. Galimi įterptieji T-angai, oro-guolių sąsajos ir jutiklių tvirtinimo atskaitos plokštumos, kad būtų patenkinti portalinių tikrinimo platformų, XY judėjimo etapų ir plokštelių laikiklio pagrindų konstrukciniai reikalavimai. Po apdirbimo granito dalys praeina ilgalaikį-įtempių-senėjimą, mikro-porų sandarinimą ir tikslią metrologinę patikrą. Geometriniai leistini nuokrypiai tikrinami pastovios temperatūros, vibracijos{11}}izoliuotose metrologijos patalpose, kad būtų užtikrintas etalono tikslumas pristatymo metu ir atsparumas deformacijai ilgalaikio naudojimo metu.
Daugelis puslaidininkinės įrangos gamintojų nerimauja dėl švarių patalpų priežiūros darbų krūvio. Metaliniai pagrindai reikalauja reguliaraus rūdžių šalinimo ir dangos atnaujinimo, o tokia priežiūra lengvai sukuria dulkes, kurios pažeidžia švarių patalpų klasifikaciją. Granito komponentams nereikia periodinio antikorozinio apdorojimo. Kasdienė priežiūra apima tik paviršių valymą ir nedidelių susikaupusių dulkių pašalinimą -nedulkėtu skudurėliu ir tam skirtomis valymo priemonėmis. Paprasta priežiūros darbo eiga išsaugo švarias patalpas ir sumažina prastovų išlaidas.
Magnetiniai trukdžiai, dalelių užterštumas ir etaloninė deformacija yra pagrindinė rizika, kurią reikia kontroliuoti tiksliosios puslaidininkių metrologijos programose, įskaitant plokštelių AOI vizualinį patikrinimą, interferometriją ir po{0}}sujungimo patikrinimą. NEPRIlyginami granito konstrukciniai komponentai apjungia ne-magnetines, nerūdijančias-, mažą-deformaciją ir vibraciją{5}}slopinančias savybes, kad atitiktų specialias puslaidininkių švarių patalpų eksploatavimo sąlygas. Jie teikia stabilų, švarų ir ne-magnetinį etaloninį palaikymą įvairiai puslaidininkių tikrinimo įrangai ir padeda užtikrinti stabilų ir efektyvų lustų tikrinimo darbo eigą.