Puslaidininkių tikslumo tikrinimo ir ultra{0}}ultra tikslumo apdirbimo metu tikslus įrangos poslinkis yra pagrindinė problema, kuri riboja gamybos išeigą ir padidina eksploatavimo bei priežiūros išlaidas. Daugelis įprastų etaloninių komponentų kenčia nuo etaloninio taško poslinkio, plokštumo pablogėjimo ir prasto išmatuotų duomenų pakartojamumo po ilgalaikio-aukšto-dažnio veikimo dėl jėgos-sukeltos deformacijos, paviršiaus susidėvėjimo ir aplinkos erozijos. Reikalingos dažnos prastovos kalibruojant ir keičiant dalis. Priešingai, mažai -deformuojančios tikslaus granito paviršiaus plokštės, pasižyminčios unikaliomis mineralinės struktūros savybėmis, puikiu atsparumu dilimui ir griežtais formavimo procesais, išsprendžia ilgalaikio- tikslumo etalonų stabilumo iššūkį. Jie naudojami kaip pagrindiniai ilgalaikės{10}}pažangios{11}}puslaidininkinės įrangos etaloniniai priedai ir užtikrina pagrindinę ilgalaikio tikslumo vertę be nukrypimų ilgą laiką.
Dauguma pagrindinių tikslaus dreifo priežasčių kyla dėl negrįžtamos pagrindinių medžiagų deformacijos. Įprastos etaloninės medžiagos, tokios kaip metalai, paprastas akmuo ir kompozitinės medžiagos, dažniausiai kenčia nuo liekamojo vidinio įtempio, didelių šiluminio plėtimosi koeficientų ir nepakankamo konstrukcinio tvirtumo. Esant ilgalaikėms ruošinio apkrovoms, dinaminiam mechaniniam įtempimui ir nedideliems temperatūros bei drėgmės svyravimams dirbtuvėse, atsiras kumuliacinė plastinė deformacija, deformacija ir įtempių poslinkis. Tokia deformacija negali savaime-atsigyti. Laikui bėgant, tai sukelia nuolatinį etaloninio tikslumo praradimą, dėl kurio tiesiogiai nukrypsta tikrinimo duomenys ir nepavyksta suderinti įrangos. Skirtingai nuo įprastų medžiagų, išskirtinis UNPARALLELED® juodasis granitas yra natūraliai geologiškai senstamas per milijonus metų ir profesionalus antrinis sendinimas gamykloje, kad būtų visiškai pašalintas vidinis akmens įtempis ir susidaro tolygiai išdėstytos ir tankios kristalų struktūros. Tai iš esmės pašalina tikslumo poslinkį, kurį sukelia įtempių deformacija.
Itin maža deformacija yra pagrindinė kliūtis nuo tikslaus dreifo. Šio aukštos-klasės precizinio granito tankis siekia 3100 kg/m³, o tai yra didesnis nei paprasto akmens ir panašių granito gaminių iš Europos ir Amerikos. Jame nėra laisvų porų ar struktūrinių defektų ir jis pasižymi išskirtiniu struktūriniu stabilumu. Pasižymi itin-mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, todėl jis beveik nėra jautrus įprastiniams nedideliems temperatūros svyravimams ir vietiniam šilumos kilimui dėl įrangos eksploatacijos puslaidininkių dirbtuvėse. Dėl šiluminio plėtimosi ir susitraukimo nevyksta mikro-iškrypimų ar mikro-deformacijų. Net esant 7 × 24 nenutrūkstamai masinei gamybai ir ištisus metus esant pastoviai temperatūrai ir drėgmei, negrįžtamos konstrukcijos deformacijos neatsiranda dėl statinių apkrovų ar dinaminių kintamųjų įtempių. Jo geometriniai matmenys ir etaloninis plokštumas gali išlaikyti pradinį tikslumą ilgą laiką, visiškai išvengiant tikslumo dreifo rizikos, kurią sukelia temperatūra, įtempiai ir apkrovos.
Puikus atsparumas dilimui yra esminė ilgalaikio{0}} tikslumo garantija. Atliekant tikslią apžiūrą, pakartotinis ruošinių pakrovimas ir iškrovimas, dažnas įrankių padėties nustatymas ir nuolatinis tikrinimo zondų slydimas sukuria didelio-dažnio trintį ir nedidelį poveikį atskaitos paviršiui. Po ilgo eksploatavimo įprastų etaloninių plokščių paviršiuje lengvai atsiranda įbrėžimų, įbrėžimų ir susidėvėjusių įdubimų, dėl kurių pažeidžiama atskaitos plokštumos morfologija ir atsiranda sistemingų tikslumo nukrypimų. NEPRIlyginamas precizinis granitas turi daug didesnį kietumą nei ketaus, aliuminio ir paprasto akmens. Po nanoskalės itin{6}}smulkaus sluoksniavimo ir sandarinimo kietėjimo, sandariai susikibę kristalai sudaro kietą ir tankų viršutinį sluoksnį, kuris yra atsparus trinčiai, įbrėžimams ir nedideliems smūgiams. Atliekant ilgalaikes aukšto dažnio Mikro-morfologija išlieka tvarkinga ir nuosekli, išsaugant etaloninį paviršiaus tikslumą ir užkertant kelią tikslumo pablogėjimui dėl susidėvėjimo.
Atsparumas aplinkos erozijai dar labiau sustiprina{0}}ilgalaikį etalono stabilumą. Puslaidininkinėse švariose patalpose yra nedideli kiekiai valymo tirpiklių, vandens garų ir oro dulkių. Paprastas akmuo lengvai sugeria nešvarumus ir deformuojasi veikiant drėgmei, o metalai linkę oksiduotis ir rūdyti, o tai netiesiogiai pakenks etaloniniam tikslumui. Tikslus granitas yra chemiškai inertiškas, atsparus rūgštims ir šarmams, atsparus korozijai-, ne-oksiduojantis ir ne{6}}magnetinis. Jis atsparus švarių patalpų cheminėms medžiagoms ir drėgmės pokyčiams, be paviršiaus korozijos ar struktūros irimo. Tuo tarpu ne-magnetinė medžiaga nepritraukia smulkių dulkių ir prisitaiko prie švarios puslaidininkių aplinkos. Paviršiaus etaloninio tikslumo nepakeis aplinkos erozija ar dulkių kaupimasis, kad būtų išlaikytas pastovus tikslumas visomis darbo sąlygomis.
Griežtas tikslus apdirbimas ir metrologijos kokybės kontrolė sudaro uždarą kilpą nuo tikslaus dreifo. Išskirtinis natūralių medžiagų našumas kartu su aukščiausios-pakopos apdorojimo ir tikrinimo sistemomis sukuria aukštos-kokybės ilgalaikius-stabilus etalonus. Pritaikius nanoskalės rankinį glaistymą, kurį atlieka meistrai veteranai, ir formuodami dideliais tiksliaisiais šlifuokliais, mūsų gaminiai griežtai atitinka daugybę tikslios metrologijos standartų iš Vokietijos, JAV, Japonijos ir Kinijos. Viso-diapazono tikrinimą ir kalibravimą atlieka pasaulinės-klasės prietaisai, įskaitant Mahr iš Vokietijos, Mitutoyo iš Japonijos ir Renishaw iš JK. Kiekvienos granito paviršiaus plokštės lygumas, lygiagretumas ir geometrinės leistinos nuokrypos yra atsekamos pagal nacionalinius metrologijos standartus, gamyklos pristatymo tikslumas kontroliuojamas nanometrų lygiu. Mūsų skirta nuolatinė -temperatūra, drėgmė{11}}kontroliuojama ir be dulkių{12}}gamybos aplinka pašalina aplinkos trukdžius apdirbimo ir bandymo metu, užtikrina gryną ir stabilų galutinį tikslumą ir padeda tvirtą technologinį pagrindą, kad būtų išvengta tikslumo dreifo vėlesnio-naudojimo metu.
Praktikoje jo pagrindiniai pranašumai – maža deformacija ir didelis atsparumas dilimui – virsta apčiuopiama gamybos nauda. Palyginti su įprastiniais etaloniniais komponentais, kuriuos reikia kalibruoti kelis kartus per metus ir keisti kas 2–3 metus, NEPRILYGTINAS granito paviršiaus plokštes reikia retai kalibruoti arba keisti trumpą -ciklą. Tikslumas vos pablogėja per visą gyvavimo ciklą, todėl labai sutrumpėja techninės priežiūros prastovos ir sumažėja įmonės pirkimų ir paslaugų sąnaudos. Nuolatinis etalono tikslumas visiškai pašalina klaidingą patikrinimo vertinimą ir apdirbimo nukrypimą, kurį sukelia etalono dreifo, ir stabilizuoja puslaidininkių gamybos išeigą. Jis idealiai tinka aukščiausios klasės-scenarijoms, įskaitant CMM tikrinimą, optinio profilio matavimą, precizinį apdirbimą lazeriu ir plokštelių tikrinimą.
Maža deformacija, didelis atsparumas dilimui ir nuolatinis stabilus tikslumas yra pagrindiniai pranašumai, išskiriantys aukščiausios klasės{0}}granito paviršiaus plokštes nuo įprastų etaloninių medžiagų. Itin tankios natūralios žaliavos, be įtempių-stabilios struktūros, puikus atsparumas nusidėvėjimui ir erozijai, kartu su griežtomis ultra-tikslaus apdirbimo ir metrologijos sistemomis, NEPRIlyginančios granito paviršiaus plokštės puikiai išsprendžia tikslios įrangos dreifo problemas per ilgą tarnavimo laiką. Kadangi puslaidininkių nanoskalės tiksli gamyba vis tobulėja, šie ilgai{6}}stabilūs etaloniniai komponentai, kurių tikslumas yra nuoseklus, yra gyvybiškai svarbus kertinis akmuo, užtikrinantis stabilų ultra-tikslaus tikrinimo ir apdorojimo įrangos veikimą.