Granito oras - Plūduriuojantis kreiptuvas yra aukštas - tikslaus judesio kreiptuvo komponentas, suformuotas derinant natūralų granitą kaip kreipiamąjį pagrindą su oro - plūduriuojančia technologija. Jis naudoja suslėgtą orą, kad suformuotų mikroną - lygio oro plėvelę tarp kreiptuvo ir judančios dalies, kad abu neturėtų mechaninio kontakto ir pasiektų suspenduotą santykinį judesį. Granitas yra tiksliai sumaltas, siekiant užtikrinti, kad kreipiamojo paviršiaus paviršius būtų ypač didelis lygumas, tiesumas ir sklandumas, užtikrinantis stabilų pagrindą oro - plūduriuojančiai sistemai.
Granito oras - plūduriuojantis vadovas turi šiuos pranašumus:
(1) kreipiamojo paviršius yra dujos - sutepta, o jo trinties koeficientas yra ypač mažas (apie 0,0005), todėl pavaros galią galima žymiai sumažinti; Pavaros komponento galios reikalavimas žymiai sumažėja, o išlaidos ir šiluminis poveikis bus atitinkamai sumažėjęs!
(2) Dėl ne - kontaktinės trinties, kreipiamojo bėgio susidėvėjimas yra minimalus ir ilgas aptarnavimo laikas, ilgą laiką gali išlaikyti gamybos tikslumą ir sumažina techninės priežiūros darbo krūvį;
(3) oro plėvelė turi klaidų išlyginimo efektą, kuris gali pagerinti kreipiamojo bėgio judesio tikslumą;
(4) oro plėvelės storis beveik nepaveikia greičio, o roplys nebus net esant ypač mažam greičiui, o judėjimas yra lygus;
(5) Beveik nesukuriama šiluma, klampumo pokyčiai neįvyksta ir nereikia jokių papildomų aušinimo priemonių.
Turėdami šiuos pranašumus, granito oras - plūduriuojantys kreipiamieji bėgiai tapo pagrindiniais aukštų - galutinės įrangos, tokios kaip tikslūs staklės, koordinačių matavimo mašinos ir puslaidininkių litografijos įranga, komponentai ir puslaidininkių litografijos judesio valdymas ir yra viena iš pagrindinių technologijų, skirtų pasiekti ypač- pirminio judesio valdymą.
