Pagrindinis puslaidininkių tikslumo tikrinimo uždavinys yra užfiksuoti subtilius plokštelių ir optinių komponentų morfologinius defektus nanoskalėje. Tikrinimo sistemų lęšiai, poslinkio jutikliai ir zondų moduliai pasižymi itin didele raiška. Tačiau net ir patys sudėtingiausi jutimo įrenginiai remiasi stabilia ir plokščia fizine atskaita. Didelio-plokščio granito platformos nėra paprastos apkrovą{5}}nešančios bazės; vietoj to jie tarnauja kaip pagrindiniai visos tikrinimo įrangos atskaitos komponentai. Jie tiesiogiai apibrėžia matavimo sistemos nulinį-taško etaloną ir veikia kaip pagrindinis nešiklis, įgalinantis didelio-tikslumo duomenis, pakartojamumą ir rezultatų atsekamumą.
Daugelis tikrinimo įrangos tyrimų ir plėtros inžinierių projektavimo etape linkę sutelkti dėmesį į optinius algoritmus ir jutiklių pasirinkimą, neįvertindami pakopinio poveikio, kurį sukelia nedideli etaloninio paviršiaus bangavimai. Net ir mikrometrų ar mažesni Dėl to kyla rizika, kai kvalifikuoti produktai yra atmetami arba sugedę įrenginiai patenka į tolesnius procesus. Pagamintos taikant itin-smulkaus padengimo technologiją, aukšto-plokštumo granitinės platformos išlaiko itin mažas darbinių paviršių smailių-–-slėnių paklaidas ir sudaro beveik idealią geometrinę plokštumą. Jie suteikia vieningą atskaitos plokštumą kelių-ašių tikrinimo moduliams ir pašalina sistemines klaidas, atsirandančias dėl atskaitos paviršiaus morfologinių defektų.
Pačios medžiagos fizinės ir cheminės savybės leidžia granitui laikui bėgant išlaikyti puikų lygumą. Net jei metalinės etaloninės dalys atitinka lygumo reikalavimus iš karto po apdirbimo, jos linkusios palaipsniui deformuotis esant nuolatinėms apkrovoms ir temperatūros svyravimams. Iš pradžių plokščias paviršius lėtai deformuosis, o lygumo savybės greitai pablogės. UNPARALLELED® precizinis granitas pasižymi tankiai susipynusiais kristalais ir itin-mažu poringumu bei minimaliu šiluminio plėtimosi koeficientu. Jis atsparus deformacijoms, kurias sukelia aplinkos pokyčiai, esant pastoviai -temperatūrai ir pastoviai-drėgmei puslaidininkių švariose patalpose. Tinkamai senstant, kad būtų visiškai pašalintas vidinis liekamasis įtempis, granitas po apdirbimo išlaiko savo aukštą lygumą. Nepertraukiamai veikiant įrangai jis lėtai deformuojasi, todėl sutrumpės dažnos etaloninio kalibravimo prastovos.
Tikrinimo įrangai, integruotai su keliomis stotimis ir moduliais, didelio{0}}plokštumo platformos suvienija pasaulinius etalonus. Daugelyje puslaidininkių tikrinimo įrenginių yra keli jutikliai ir bandymo stotys, todėl reikia sinchroninio kelių{2}}zondo duomenų rinkimo viename atskaitos paviršiuje. Nenuoseklūs etaloninio paviršiaus pakilimai sukuria etaloninius neatitikimus tarp stočių, todėl to paties ruošinio rodmenys prieštarauja skirtingose padėtyse. Pagaminta kaip monolitinis gabalas, granitinė platforma užtikrina vientisą ir vienodą darbinį paviršių, kuris visame plote yra vienodas. Skirtingose platformos zonose paskirstyti zondai ir optiniai lęšiai turi vieną vieningą koordinačių sistemą, kuri pašalina stočių etalono nuokrypius ir užtikrina nuoseklius matavimo duomenis partijos tikrinimo metu.
Vibracijos trukdžiai yra pagrindinis tikslios patikros priešas, o didelio{0}}plokštumo granitinės platformos taip pat siūlo slopinimą vibracijai slopinti. Atliekant baltos šviesos interferometriją ir zondo profilių nuskaitymą, net ir mažos vibracijos sukelia triukšmą į vaizdų ar profilių kreives. Tankaus granito kristalinės sąsajos išsklaido vibracijos energiją ir slopina mikro-vibracijas, sklindančias iš žemės, ir trikdžius, kuriuos sukelia judantys moduliai įrangos viduje. Plokščias atskaitos paviršius leidžia tvirtai pritvirtinti tarp pakopų, įrankių ir platformos, išvengiant lokalaus vibracijos stiprinimo, kurį sukelia surinkimo tarpai. Jis palaiko geometrinius etalonus, tuo pačiu sumažindamas vibracijos triukšmą ir padeda jutikliams išvesti švarius ir stabilius neapdorotus matavimo signalus.
Paviršiaus kokybė švarios patalpos sąlygomis yra būtina norint išlaikyti aukštą lygumą. Platformos darbinis paviršius yra tiksliai užglaistomas ir{1}}užsandarinamos poros, kieta, tanki tekstūra be atvirų porų. Pakartotinai tvarkant ruošinį, nustatant įrankio padėtį ir reguliariai valant, paviršius atsparus įbrėžimams ir nesulaiko dulkių dalelių. Neatsisluoksniuoja paviršius arba neišsilieja milteliai, kad užterštų plokšteles ar optinius lęšius. Ilgai naudojant, darbinio paviršiaus mikro-morfologija išlieka stabili, o didelis plokštumas greitai nesumažės dėl paviršiaus susidėvėjimo, sutrumpėjusios įrangos priežiūros ir pakartotinio klijavimo dažnio.
Didelio lygumo reikšmė taip pat pasireiškia surinkimo ir paleidimo metu. Surinkdami įrangą, inžinieriai kalibruoja kreipiamojo kelio tiesumą, etapų lygiagretumą ir optinių komponentų montavimo aukštį, naudodami granito platformą kaip etaloną. Lygus, ištisinis atskaitos paviršius sumažina viso mašinos surinkimo sudėtingumą ir sutrumpina gamyklos paleidimo ciklus. Kiekviena platforma yra tikrinama, ar nėra lygumo, naudojant aukščiausios klasės-tarptautinius metrologijos instrumentus pastovios-temperatūros metrologijos laboratorijoje. Bandymų duomenis galima atsekti, pridedant visas metrologijos ataskaitas. Įrangos gamintojai, remdamiesi ataskaitomis, gali tiesiogiai atlikti visos{7}}mašinos kalibravimą ir sumažinti neapibrėžtumą paleidimo vietoje{8}}.
Kaip idealūs etaloniniai puslaidininkių tikslios tikrinimo įrangos komponentai, didelio{0}}plokščio granito platformos yra vieningas ir patikimas fizinis daugelio-jutiklio ir-punktų tikrinimo sistemų etalonas, nes jų nanoskalės plokščias darbinis paviršius, puikus matmenų stabilumas, natūralus vibracijos slopinimas, atsparumas dilimui ir švaros savybės. Jie paverčia idealią geometrinę plokštumą iš inžinerinių brėžinių į vientisus komponentus, sumažina sistemines matavimo paklaidas ir garantuoja stabilius, patikimus ir pakartojamus duomenis tiriant masines plokšteles. Kadangi puslaidininkių tikrinimo tikslumas nuolat tobulėja link nanometrų režimo, šie etaloniniai komponentai yra nepakeičiamas pagrindas, užtikrinantis didelio našumo matavimą tikslios tikrinimo įrangoje.