Puslaidininkių gamybos pasaulyje, kur savybės matuojamos nanometrais, litografijos mašinos pagrindas yra svarbiausias jos turtas. Tikslūs granito komponentai užtikrina reikiamą šiluminį stabilumą ir vibracijos slopinimą, reikalingą plokštelių perkėlimui ir nuskaitymui. Tačiau net aukščiausios kokybės-litografinės granito platformos veikimas gali būti pažeistas dėl prasto įrengimo.
„Unparalleled Group“ teikia pasaulinio lygio{0}}granito sprendimus pasaulinei puslaidininkių pramonei. Šiame vadove aprašomas standartizuotas 5-žingsnių paleidimo procesas, siekiant užtikrinti, kad jūsų įranga nuo pat pirmos dienos pasiektų mažiau nei mikronų tikslumą.
1 veiksmas: švarios patalpos aplinkos stabilizavimas
Kol granito pagrindas dar nesiliečia su grindimis, aplinka turi būti kontroliuojama.
Temperatūros pusiausvyra: Granitas turi didelę šiluminę inerciją. Komponentai turi būti 10/100 klasės švarioje patalpoje mažiausiai 24–48 valandas, kad pasiektų šiluminę pusiausvyrą su aplinkos oru (pramonės standartas yra 22 ± 0,1 laipsnio).
Paviršiaus paruošimas: naudokite specialius valiklius be likučių{0}}, kad pašalintumėte apsaugines gabenimo alyvas. Bet kokia mikroskopinė dalelė, likusi tvirtinimo taškuose, gali sukelti „pasvirimą“, o tai reiškia didžiules klaidas optinio stulpelio viršuje.
2 veiksmas: tikslus niveliavimas ir kelių{1}}taškų palaikymas
Puslaidininkinės platformos dažnai naudoja 3 taškų pirminę atramos sistemą, kad būtų išvengta vidinio įtempimo, kurią papildo pagalbiniai stabilumo taškai.
Technika: naudokite didelio{0}}tikslumo elektroninius nivelyrus (0,001 mm/m jautris), kad nustatytumėte pirminę plokštumą.
Tikslas: pašalinkite granito „susisukimą“. Didelių litografinių pagrindų lygumas turi būti patikrintas galutinėje apkrovoje, kad būtų atsižvelgta į bet kokį konstrukcinį įlinkį.
3 veiksmas: komponentų integravimas ir sukimo momento seka
Montuojant ant granito oro guolius, linijinius variklius ar keraminius kreipiklius, mechaninio tvirtinimo seka yra gyvybiškai svarbi.
Įtempių vengimas: naudokite žvaigždutės{0}}schemos sukimo momento seką visiems tvirtinimo varžtams.
Įdėklo vientisumas: įsitikinkite, kad 304 nerūdijančio plieno arba epoksidinės dervos įdėklai yra švarūs. Per didelis sukimas gali sukelti įdėklą supančio granito mikro-lūžius, dėl kurių gali atsirasti ilgalaikis-dreifas.
4 veiksmas: dinaminis vibracijos bandymas (modalinė analizė)
Statinės platformos neužtenka; granitas turi veikti esant didelėms{0}}vaflių stadijos pagreičio apkrovoms.
Testavimas: Modalinei analizei atlikti naudokite akselerometrus. Tai patvirtina, kad litografinės granito platformos slopinimo savybės efektyviai neutralizuoja judančių įrangos dalių generuojamus dažnius.
Patikrinkite: patikrinkite, ar natūralus granito dažnis netrukdo judesio valdiklių servo{0}}kilpos dažniui.
5 veiksmas: galutinis geometrinis patikrinimas ir kalibravimas
Paskutinis žingsnis yra „Auksinė apžiūra“, naudojant lazerinę interferometriją.
Tiesiškumas ir kvadratiškumas: lazeriniu interferometru išmatuokite ašių eigą granito paviršiumi.
Dokumentacija: sugeneruokite galutinį kalibravimo žemėlapį. Šis skaitmeninis granito geometrijos dvynys gali būti užprogramuotas įrangos programinėje įrangoje, kad kompensuotų bet kokius likusius sub -mikronų nuokrypius.
Kodėl litografijoje svarbus tikslumas
Puslaidininkinės įrangos gamintojams ir švarių patalpų inžinerijos įmonėms granito komponentų montavimas yra labai svarbus{0}} veiksmas. Išlyginimo klaida arba terminio stabilizavimo gedimas gali sukelti „perdengimo klaidas“, sumažinti plokštelių išeigą ir kainuoti milijonus prarastos gamybos.
Vadovaudamiesi šiuo standartizuotu 5{1}}žingsnių vadovu sumažinate diegimo riziką ir maksimaliai padidinate didelio tikslumo surinkimo IG.